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中瑞祥便攜式熱偶真空計(jì) 真空測(cè)試儀原理操作步驟

是一種基于氣體熱導(dǎo)率與壓力關(guān)系的真空測(cè)量?jī)x器，通過(guò)檢測(cè)加熱絲溫度變化間接反映真空度。以下是其核心原理和操作要點(diǎn)：

工作原理

?熱傳導(dǎo)特性?：氣體分子的熱導(dǎo)率與壓力成正比。當(dāng)壓力降低時(shí)，氣體導(dǎo)熱減少，加熱絲溫度升高，熱電偶輸出的電勢(shì)隨之增大。 ?

?溫度-電勢(shì)轉(zhuǎn)換?：加熱絲通以恒定電流，其溫度由周?chē)鷼怏w壓力決定。熱電偶將溫度變化轉(zhuǎn)化為電勢(shì)信號(hào)，通過(guò)毫伏表或數(shù)字顯示轉(zhuǎn)換為壓力值。 ?

操作步驟

?預(yù)熱與校準(zhǔn)?

連接規(guī)管后，預(yù)熱10分鐘，確保系統(tǒng)穩(wěn)定。 ?

調(diào)節(jié)加熱電流至規(guī)定值（通常標(biāo)注在規(guī)管或說(shuō)明書(shū)上），使指針滿度并持續(xù)1分鐘。 ?

?測(cè)量模式切換?

將“熱偶選擇"開(kāi)關(guān)置于“測(cè)量"位置，重復(fù)測(cè)定三次以提高準(zhǔn)確性。 ?

?注意事項(xiàng)?

量程范圍：通常為0.1Pa至1000Pa，需在不同氣體下標(biāo)定（因氣體導(dǎo)熱性差異）。 ?

避免在氧化性或腐蝕性氣體中使用，以防熱絲氧化或損壞。 ?

適用場(chǎng)景

適用于低真空至中真空環(huán)境（1~300Pa），常用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造等工藝的真空度監(jiān)控。